11月25日至27日,第六届亚太碳化硅及相关材料国际会议(APCSCRM)在河南郑州盛大举行。作为碳化硅领域具有行业风向标意义的重要会议,APCSCRM汇聚众多领先企业与专家学者。无锡松瓷机电有限公司携晶体生长设备解决方案于55号展位亮相,与业界专家、合作伙伴现场交流,共话碳化硅前沿发展。
松瓷机电作为无锡奥特维科技股份有限公司的控股子公司,专注于半导体及光伏行业晶体生长专用设备的研发、制造销售及提供综合性解决方案。凭借独特的技术创新力,松瓷机电推出碳化硅电阻炉、碳化硅电感炉、碳化硅原料合成炉、籽晶热压炉、纯化炉及IC级半导体单晶炉等多款产品,成为半导体及光伏业内值得信赖的高端装备制造商。
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此次会议中,松瓷机电重点展示以下明星装备,全面展现松瓷机电在SiC晶体生长和原料制备领域的技术创新力:
PART 1
碳化硅电阻炉
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采用电阻加热方式,可生长8-12inch晶锭。搭载智能操作系统,保证设备高效率高稳定运行。
PART 2
碳化硅电感炉
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采用感应加热方式,可生长6-8inch晶锭。设备采用全自动控制系统,坩埚动态控温工艺,保证高效率低能耗生产。
PART 3
碳化硅原料合成炉
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可合成半绝缘粉料及导电型粉料,采用电阻/电感加热方式,全自动控制系统,实现自动上下料,单次出料率>60%。
PART 4
纯化炉


立式/卧式两种规格可选,配置全自动控制系统,提纯碳材料,提纯能力<5ppm,设备维护便捷,可提供定制化服务。
展会即将圆满落幕,感谢行业同仁在此期间的莅临与交流。松瓷机电将持续深耕晶体生长装备领域,期待与各位携手并进,共促碳化硅材料与装备的创新发展。